Eine Gruppe von Studierenden war gemeinsam mit Prof. Baldauf im Reinraum am Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (IHM) der TU Dresden.

Das pfeifen der Vakuum-Turbopumpen, das Atmen von dreifach gefilterter Reinraumluft, das kuschlige Gefühl eines Staubschutz-Overalls und viele interessante Anlagen der Halbleiter-Produktion sowie der Halbleiter-Messtechnik gab es am 3. Mai für einer kleinen Exkursionsgruppe der HTW zu erleben. 4 Studenten des Mikroelektronik-Moduls besuchten zusammen mit Prof. Baldauf das Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik (IHM) der TU Dresden. Dabei wurde der Grau- und Weißbereich des Reinraums und die Luft-, Wasser und Chemie-Versorgungsanlagen besichtigt, welche sich unterhalb befinden. In den Laboren konnten unter anderem die ALD-Anlage (Atomic layer deposition), eine Nassbank, eine PVD-Anlage (Physical vapor deposition), Temper-Öfen, ein Spektral-Ellipsometer und ein Profilometer auch mal aus der Nähe betrachtet werden.